Клєпікова Катерина Сергіївна
Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання
Номер патенту: 108516
Опубліковано: 25.07.2016
Автори: Клєпікова Катерина Сергіївна, Зайцев Роман Валентинович, Кіріченко Михайло Валерійович, Хрипунов Геннадій Семенович, Клочко Наталя Петрівна, Любов Віктор Миколаєвич, Копач Володимир Романович
МПК: C25B 1/00, B82Y 40/00
Мітки: спосіб, випромінювання, детектора, виготовлення, ультрафіолетового
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктурованих масивів цинк оксиду із конфігурацією шарів "провідна підкладка|наноZnO|тильний контакт", який відрізняється тим, що формування наноструктурованих масивів ZnO здійснюють технологією електроосадження в імпульсному режимі із подальшим відпалом на повітрі при температурі 240-260 °C протягом 3-6 хв., тильні контакти виконані у вигляді плівки...