Кляхіна Наталія Афанасіевна
Спосіб одержання нітридної плівки
Номер патенту: 61646
Опубліковано: 17.11.2003
Автори: Ігнатенко Петро Іванович, Бадекін Максим Юрійович, Кляхіна Наталія Афанасіевна
МПК: C23C 16/38
Мітки: спосіб, одержання, нітридної, плівки
Формула / Реферат:
Спосіб одержання нітридної плівки, що включає розпилення мішені, який відрізняється тим, що плівку нітриду кремнію з тонким захисним покриттям аморфного діоксиду титану, формують легуванням холодної кремнієвої монокристалічноі підкладки іонами азоту і титанової мішені при режимі напилювання: напруга і струмінь на газовому розряді - 380-400В і 1А відповідно, напруга і струмінь на мішені - 500 В і 30мА, напруга і струмінь на підкладці - 20кВ і...