Ігнатенко Петро Іванович

Номер патенту: 12385

Опубліковано: 15.02.2006

Автори: Гончаров Олександр Андрійович, Ступак Володимир Абрамович, Ігнатенко Петро Іванович, Петухов Вадим Вікторович

МПК: C23C 16/00

Мітки: vb2-vn, плівка, багатошарова

Формула / Реферат:

Багатошарова плівка VB2–VN, що складається зі зносостійких шарів, яка відрізняється тим, що один із шарів покриття - нижній (борид ванадію) має модуль пружності 190-230 ГПа, верхній шар - нітрид ванадію, має твердість 30-33 ГПа, та виготовляються на одній одиниці устаткування в одному вакуумно-технологічному циклі.

Номер патенту: 68968

Опубліковано: 16.08.2004

Автори: Бадєкін Максим Юрьєвич, Ігнатенко Петро Іванович, Кляхіна Наталія Афанасієвна

МПК: C23C 16/34

Мітки: двошарової, нітридної, спосіб, одержання, плівки

Формула / Реферат:

Спосіб одержання двошарової нітридної плівки, що включає розпилення мішені, який відрізняється тим, що плівку W2N/TiN формують у результаті легування холодної полікристалічної підкладки вольфраму іонами азоту і титанової мішені при режимі: напруга і струм на газовому розряді 380 В і 0,5 А, напруга і струм на мішені 2 кВ і 60 мА, напруга і струм на підкладці 20 кВ і 10 мА при дозі опромінення в інтервалі 1,8-2,4.1016 іон/см2.

Номер патенту: 64529

Опубліковано: 16.02.2004

Автори: Гончаров Олександр Андреевич, Ігнатенко Петро Іванович, Терпій Дмитро Миколайович

МПК: C23C 16/00

Мітки: спосіб, оксидної, плівки, одержання

Формула / Реферат:

Спосіб одержання оксидної плівки V2О5, що включає осадження на підкладці в атмосфері, що містить кисень, який відрізняється тим, що текстурований п’ятиокис ванадію утворюють на поверхні тонкого прошарку дибориду ванадію, який нарощують епітаксійно на грані (111) кремнію методом нереактивного ВЧ-магнетронного розпилення мішені VB2 протягом 20 хв. при режимі: потужність розряду (NP) 400-350 Вт, зсув на підкладці (V) - 8 В, струм розряду (Ір)...

Номер патенту: 61646

Опубліковано: 17.11.2003

Автори: Ігнатенко Петро Іванович, Кляхіна Наталія Афанасіевна, Бадекін Максим Юрійович

МПК: C23C 16/38

Мітки: одержання, спосіб, нітридної, плівки

Формула / Реферат:

Спосіб одержання нітридної плівки, що включає розпилення мішені, який відрізняється тим, що плівку нітриду кремнію з тонким захисним покриттям аморфного діоксиду титану, формують легуванням холодної кремнієвої монокристалічноі підкладки іонами азоту і титанової мішені при режимі напилювання: напруга і струмінь на газовому розряді - 380-400В і 1А відповідно, напруга і струмінь на мішені - 500 В і 30мА, напруга і струмінь на підкладці - 20кВ і...

Номер патенту: 57300

Опубліковано: 16.06.2003

Автори: Ігнатенко Петро Іванович, Терпій Дмитро Миколайович, Гончаров Олександр Андрійович

МПК: C23C 16/38

Мітки: плівки, спосіб, одержання

Формула / Реферат:

Спосіб одержання плівки шляхом плазменного напилювання дибориду цирконію, який відрізняється тим, що плівку ZrB2 із захисним оксидним прошарком ZrO2 осаджують нереактивним ВЧ-магнетронним розпиленням мішені ZrB2 у камері з попереднім вакуумом (5х10-3 Па) при підігріві (20-90°С) монокристалічної підкладки (111) Si.

Номер патенту: 11185

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Куделін Юрій Васильович, Усенко Ніна Миколаївна, Ігнатенко Петро Іванович, Гончаров Олександр Андрійович, Муза Михайло Анатолійович, Соколова Ірина Василівна

МПК: H01C 7/00

Мітки: виготовлення, тонкоплівкових, резисторів, матеріал

Формула / Реферат:

(57) Материал для тонкопленочных резисторов, содержащий твердый раствор на основе дисилицида хрома и дисилицида никеля, отличающийся тем, что он дополнительно содержит нитрид кремния при следующем соотношении компонентов, мас. %: дисилицид никеля 19-20 нитрид кремния 3-6 дисилицид хрома остальное.