Колосюк Андрій Григорович
Спосіб отримання радіаційно стійкого кремнію для електронних приладів
Номер патенту: 101855
Опубліковано: 12.10.2015
Автори: Крайчинський Анатолій Миколайович, Поварчук Василь Юрійович, Колосюк Андрій Григорович, Красько Микола Миколайович, Неймаш Володимир Борисович, Войтович Василь Васильович
МПК: H01L 21/02
Мітки: отримання, приладів, кремнію, стійкого, спосіб, електронних, радіаційної
Формула / Реферат:
Спосіб отримання радіаційно стійкого моно- та полікристалічного кремнію для електронних приладів шляхом вирощування з розплаву, включаючи легування фосфором для створення провідності n-типу та ізовалентним елементом IV групи, який відрізняється тим, що додатково легують домішкою олова у діапазоні концентрацій 1017-1019 см-3 за умови, що отриманий матеріал буде мати питомий електроопір в межах 0,5-20 Ом×см, концентрації технологічних...