Красько Микола Миколайович
Спосіб отримання радіаційно стійкого кремнію для електронних приладів
Номер патенту: 101855
Опубліковано: 12.10.2015
Автори: Неймаш Володимир Борисович, Поварчук Василь Юрійович, Войтович Василь Васильович, Крайчинський Анатолій Миколайович, Колосюк Андрій Григорович, Красько Микола Миколайович
МПК: H01L 21/02
Мітки: спосіб, кремнію, приладів, отримання, радіаційної, електронних, стійкого
Формула / Реферат:
Спосіб отримання радіаційно стійкого моно- та полікристалічного кремнію для електронних приладів шляхом вирощування з розплаву, включаючи легування фосфором для створення провідності n-типу та ізовалентним елементом IV групи, який відрізняється тим, що додатково легують домішкою олова у діапазоні концентрацій 1017-1019 см-3 за умови, що отриманий матеріал буде мати питомий електроопір в межах 0,5-20 Ом×см, концентрації технологічних...