Конін Костянтин Петрович
Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів
Номер патенту: 80345
Опубліковано: 10.09.2007
Автори: Сизов Федір Федорович, Стронська Олена Йосипівна, Паршин Костянтин Анатолійович, Литвиненко Олег Олександрович, Карачевцева Людмила Анатоліївна, Голтвянський Юрій Васильович, Конін Костянтин Петрович
МПК: H01L 31/02, G01J 5/20
Мітки: неохолоджуваний, елемент, болометрів, теплоприймальний
Формула / Реферат:
Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів, що містить теплочутливий шар кремнію, діелектричну підкладку та порожнину між ними, який відрізняється тим, що теплочутливий шар виготовлений з монокристалічного кремнію, у якому сформовані повітряні порожнини у вигляді паралельно розташованих отворів у формі циліндрів, розміщених періодично або довільно у теплочутливому шарі , відстань між якими складає від 1,5 до 2,5 мікрон.