Паршин Костянтин Анатолійович
Іонізаційна підкладка на основі структур макропористого кремнію для лазерно-десорбційної мас-спектрометрії
Номер патенту: 97774
Опубліковано: 12.03.2012
Автори: Покровський Валерій Олександрович, Паршин Костянтин Анатолійович, Карачевцева Людмила Анатоліївна, Севериновська Ольга Валеріївна, Литвиненко Олег Олександрович
МПК: B82B 3/00, B82B 1/00, C01B 33/00 ...
Мітки: підкладка, макропористого, лазерно-десорбційної, структур, кремнію, основі, іонізаційна, мас-спектрометрії
Формула / Реферат:
Іонізаційна підкладка для лазерно-десорбційної мас-спектрометрії, яка виготовлена з кремнієвої пластини і має шар мікропористого кремнію, яка відрізняється тим, що в кремнієвій пластині додатково сформовано шар макропористого кремнію у вигляді паралельно розташованих циліндрів глибиною 20÷300 мікрон, а шар мікропористого кремнію товщиною 0,1÷0,7 мікрона з розмірами нанокристалів 2÷3 нм та пористістю 60÷70 %...
Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів
Номер патенту: 80345
Опубліковано: 10.09.2007
Автори: Литвиненко Олег Олександрович, Конін Костянтин Петрович, Паршин Костянтин Анатолійович, Стронська Олена Йосипівна, Голтвянський Юрій Васильович, Сизов Федір Федорович, Карачевцева Людмила Анатоліївна
МПК: H01L 31/02, G01J 5/20
Мітки: теплоприймальний, болометрів, неохолоджуваний, елемент
Формула / Реферат:
Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів, що містить теплочутливий шар кремнію, діелектричну підкладку та порожнину між ними, який відрізняється тим, що теплочутливий шар виготовлений з монокристалічного кремнію, у якому сформовані повітряні порожнини у вигляді паралельно розташованих отворів у формі циліндрів, розміщених періодично або довільно у теплочутливому шарі , відстань між якими складає від 1,5 до 2,5 мікрон.