Коржинський Федор Йосипович
Пристрій для контролю формування нанорозмірних структур
Номер патенту: 77015
Опубліковано: 16.10.2006
Автори: Мержвинський Павло Анатолійович, Золот Анатолій Іванович, Ларкін Сергій Юрійович, Шкляр Михайло Петрович, Ходаковський Микола Іванович, Коржинський Федор Йосипович
МПК: H01L 21/00
Мітки: пристрій, нанорозмірних, формування, структур, контролю
Формула / Реферат:
Пристрій для контролю формування нанорозмірних структур, який містить блок керування параметрами, вхід якого є входом пристрою, а вихід якого зв'язаний з входом блока подачі вістря, вихід блока подачі вістря з'єднаний з входом блока керування тунельним струмом, вхід-вихід блока керування тунельним струмом зв'язаний з входом-виходом блока керування параметрами, який відрізняється тим, що містить блок керування нанесенням іонів, вхід-вихід...