Ковальчук Олексій Сергійович
Детектор заряджених частинок та іонізуючих випромінювань і спосіб його виготовлення
Номер патенту: 111418
Опубліковано: 25.04.2016
Автори: Федорович Олег Антонович, Пугач Валерій Михайлович, Костін Євген Георгійович, Ковальчук Олексій Сергійович, Петряков Володимир Олексійович
МПК: H01L 31/115, G01T 1/29, G01T 1/24 ...
Мітки: спосіб, заряджених, випромінювань, детектор, іонізуючих, виготовлення, частинок
Формула / Реферат:
1. Детектор заряджених частинок і іонізуючих випромінювань, що містить кремнієву пластину, що має на тильній стороні шар металу з наскрізним отвором як в металі, так і в кремнії і містить з лицьового боку пластини металеві стріпи, товщиною 1,5-2 мкм, що покривають всю площу отвору і зафіксовані кінцями на лицьовій стороні кремнієвої пластини, який відрізняється тим, що шар металу з тильного боку виконаний товщиною 2,5-10 мкм, а наскрізний...