Пугач Валерій Михайлович
Детектор заряджених частинок та іонізуючих випромінювань і спосіб його виготовлення
Номер патенту: 111418
Опубліковано: 25.04.2016
Автори: Костін Євген Георгійович, Пугач Валерій Михайлович, Ковальчук Олексій Сергійович, Петряков Володимир Олексійович, Федорович Олег Антонович
МПК: G01T 1/29, G01T 1/24, H01L 31/115 ...
Мітки: виготовлення, спосіб, заряджених, частинок, детектор, випромінювань, іонізуючих
Формула / Реферат:
1. Детектор заряджених частинок і іонізуючих випромінювань, що містить кремнієву пластину, що має на тильній стороні шар металу з наскрізним отвором як в металі, так і в кремнії і містить з лицьового боку пластини металеві стріпи, товщиною 1,5-2 мкм, що покривають всю площу отвору і зафіксовані кінцями на лицьовій стороні кремнієвої пластини, який відрізняється тим, що шар металу з тильного боку виконаний товщиною 2,5-10 мкм, а наскрізний...