Кузьмак Роман Миронович
Спосіб нанесення багатошарового інтерференційного покриття на оптичні елементи
Номер патенту: 111931
Опубліковано: 24.06.2016
Автори: Гайдучок Володимир Григорович, Самойлов Антон Володимирович, Копко Богдан Миколайович, Кузьмак Роман Миронович, Качур Наталія Володимирівна, Маслов Володимир Петрович, Сугак Дмитро Юрійович
МПК: C23C 14/35, C23C 14/08, G02B 1/10 ...
Мітки: елементи, спосіб, покриття, нанесення, багатошарового, інтерференційного, оптичні
Формула / Реферат:
Спосіб нанесення багатошарового інтерференційного покриття на оптичні елементи, який включає розрахунок конструкції інтерференційного покриття, розміщення вихідних оксидних плівкоутворюючих матеріалів у тиглях карусельного механізму установки електронно-променевого напилювання у вакуумі, електронно-променевим способом у вакуумі на поліровану поверхню оптичної деталі послідовно напилюють та контролюють товщину спочатку плівки з великим...