Кузнецов Михайло Валеріанович
Спосіб іонного розпилення та пристрій для його здійснення
Номер патенту: 7111
Опубліковано: 15.11.2000
Автори: Кузнецов Михайло Валеріанович, Дудко Данило Андрійович, Кістерська Людмила Данилівна
МПК: C23C 14/00
Мітки: здійснення, іонного, розпилення, спосіб, пристрій
Формула / Реферат:
1. Способ ионного распыления, заключающийся в распылении материалов в. вакууме с использованием бомбардировки мишени-катода ускоренным электрическим полем ионами плазмообразующего газа, подаваемого в непрерывно откачиваемую вакуумную камеру, и регулировании мощности разряда, плотности тока и размера области интенсивного распыления на поверхности мишени-катода путем изменения напряжения тлеющего разряда и давления газа в вакуумной камере,...