Луньов Сергій Валентинович
Спосіб отримання магніточутливого мікросенсора
Номер патенту: 118459
Опубліковано: 10.08.2017
Автори: Хвищун Микола В'ячеславович, Маслюк Володимир Трохимович, Зімич Андрій Іванович, Луньов Сергій Валентинович
МПК: C30B 15/00, C30B 33/02, C30B 33/04 ...
Мітки: отримання, мікросенсора, магніточутливого, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб отримання магніточутливого мікросенсора, що включає одержання напівпровідникового домішкового монокристалу, піддавання його ізотермічному відпалу та з'єднання після охолодження до кімнатної температури з двома парами контактів, який відрізняється тим, що домішковий монокристал виготовляють з речовини n-типу провідності, та додатково опромінюють його потоком високоенергетичних електронів, а ізотермічний відпал здійснюють після...