Людвинська Тетяна Афанасіївна
Спосіб одержання нітриду кремнію
Номер патенту: 13261
Опубліковано: 28.02.1997
Автори: Косолапова Тетяна Яківна, Бартницька Тамара Сергіївна, Сухіх Леонід Леонідович, Тельнікова Наталія Петрівна, Людвинська Тетяна Афанасіївна
МПК: C01B 21/068
Мітки: кремнію, спосіб, одержання, нітриду
Формула / Реферат:
(57) Способ получения нитрида кремния, включающий азотирование смеси порошков оксида кремния и сажи при 1400-1500°С, отличающийся тем, что в смесь перед азотированием вводят хлорид щелочного металла в количестве 5-15% от массы.