Мельничук Людмила Юріївна
Спосіб визначення концентрації та рухливості носіїв зарядів в полярних напівпровідникових матеріалах
Номер патенту: 15332
Опубліковано: 30.06.1997
Автори: Венгер Євген Федорович, Мельничук Людмила Юріївна, Мельничук Олександр Володимирович, Пасічник Юрій Архипович
МПК: G01N 21/35, G01N 21/00
Мітки: полярних, концентрації, зарядів, напівпровідникових, визначення, спосіб, матеріалах, рухливості, носіїв
Формула / Реферат:
Способ определения концентрации и подвижности носителей заряда в полярных полупроводниковых материалах, включающий измерение коэффициента отражения облученной электромагнитным излучением ПК диапазона поверхности полупроводникового материала и сравнение его со значением градуировочной кривой, отличающийся тем, что производят измерение коэффициента отражения поверхности полупроводникового материала, облученной на двух частотах из области...