Мелоуні Майкл Дж.
Спосіб (варіанти) і пристрій для нанесення теплозахисного покриття
Номер патенту: 113608
Опубліковано: 27.02.2017
Автори: Кузьмичов Анатолій Іванович, Кононенко Юрій Григорович, Маллулі Джон Ф., Білоусов Ігор Володимирович, Мелоуні Майкл Дж., Шагінян Леонід Робертович
МПК: C23C 14/28, C23C 14/32, C23C 14/30 ...
Мітки: нанесення, пристрій, теплозахисного, спосіб, покриття, варіанти
Формула / Реферат:
1. Спосіб нанесення теплозахисного покриття на деталь, у якому: розміщують деталь в камері осадження, прикладають перший електричний потенціал до деталі, розпилюють компоненти для утворення матеріалу осадження, іонізують розпилені компоненти та модулюють перший електричний потенціал так, щоб притягувати іонізовані компоненти до деталі, де модуляція включає:множину перших стадій для ППФО - плазмового парофазного осадження, кожна з яких...