Шагінян Леонід Робертович
Спосіб (варіанти) і пристрій для нанесення теплозахисного покриття
Номер патенту: 113608
Опубліковано: 27.02.2017
Автори: Маллулі Джон Ф., Білоусов Ігор Володимирович, Шагінян Леонід Робертович, Кононенко Юрій Григорович, Кузьмичов Анатолій Іванович, Мелоуні Майкл Дж.
МПК: C23C 14/28, C23C 14/32, C23C 14/30 ...
Мітки: теплозахисного, варіанти, нанесення, пристрій, покриття, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб нанесення теплозахисного покриття на деталь, у якому: розміщують деталь в камері осадження, прикладають перший електричний потенціал до деталі, розпилюють компоненти для утворення матеріалу осадження, іонізують розпилені компоненти та модулюють перший електричний потенціал так, щоб притягувати іонізовані компоненти до деталі, де модуляція включає:множину перших стадій для ППФО - плазмового парофазного осадження, кожна з яких...