Наталіч Вікторія Вадимівна
Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію
Номер патенту: 95509
Опубліковано: 25.12.2014
Автори: Корнющенко Ганна Сергіївна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Наталіч Вікторія Вадимівна
МПК: H01L 21/20
Мітки: алюмінію, анодно-окисленого, отримання, спосіб, конденсатів, нанопор
Формула / Реферат:
Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію (Аl2О3) шляхом випаровування речовини у вакуумі з подальшою конденсацією сформованих при цьому парових потоків всередині упорядкованої системи пор Аl2О3, який відрізняється тим, що формування парових потоків здійснюють за допомогою магнетронного розпилення речовини, при цьому утворений паровий потік пропускають через тісно прилягаючі одна до одної трубки, діаметр яких...