Назарчук Світлана Степанівна
Спосіб контролю тонкоплівкового прозорого нагрівального елемента на основі оксиду олова та індію
Номер патенту: 106632
Опубліковано: 25.04.2016
Автори: Маслов Володимир Петрович, Качур Наталія Володимирівна, Туру Тетяна Анатоліївна, Назарчук Світлана Степанівна, Дунаєвський Вадим Іванович
МПК: G01B 11/06, C23C 14/35, C23C 14/08 ...
Мітки: прозорого, контролю, оксиду, елемента, нагрівального, тонкоплівкового, основі, індію, спосіб, олова
Формула / Реферат:
Спосіб контролю однорідності товщини виготовлених тонкоплівкових прозорих електропровідних покриттів на основі оксидів індію та олова, який полягає в визначенні показника оптичного пропускания, який відрізняється тим, що як випромінювання використовують поляризоване світло, а топологію розподілу неоднорідності товщини визначають за допомогою аналізатора поляризованого світла, яке пройшло через зразок з покриттям.