Непийко Сергій Олексійович
Чутливий елемент плівкового сенсора магнітного поля
Номер патенту: 106353
Опубліковано: 25.04.2016
Автори: Кондрахова Дар'я Миколаївна, Шенхенсе Герд, Однодворець Лариса Валентинівна, Непийко Сергій Олексійович, Проценко Іван Юхимович
МПК: G01B 7/00, G01R 33/02, H01F 10/10 ...
Мітки: чутливий, поля, магнітного, елемент, сенсора, плівкового
Формула / Реферат:
Чутливий елемент сенсора магнітного поля, що виконаний у вигляді паралелепіпеда з металевого матеріалу багатошарової плівки, на діелектричній підкладці, який відрізняється тим, що багатошарова плівка, принаймні тришарова, складається з магнітних (Fe або Co) і немагнітних (Cr, Cu, Pd або Pt) шарів металів, які поперемінно чергуються і мають товщину 5-30 нм, та отримана методом пошарової конденсації з подальшою термообробкою в інтервалі...