Шенхенсе Герд
Чутливий елемент плівкового сенсора магнітного поля
Номер патенту: 106353
Опубліковано: 25.04.2016
Автори: Проценко Іван Юхимович, Однодворець Лариса Валентинівна, Непийко Сергій Олексійович, Шенхенсе Герд, Кондрахова Дар'я Миколаївна
МПК: G01R 33/02, G01B 7/00, H01F 10/10 ...
Мітки: елемент, чутливий, сенсора, магнітного, плівкового, поля
Формула / Реферат:
Чутливий елемент сенсора магнітного поля, що виконаний у вигляді паралелепіпеда з металевого матеріалу багатошарової плівки, на діелектричній підкладці, який відрізняється тим, що багатошарова плівка, принаймні тришарова, складається з магнітних (Fe або Co) і немагнітних (Cr, Cu, Pd або Pt) шарів металів, які поперемінно чергуються і мають товщину 5-30 нм, та отримана методом пошарової конденсації з подальшою термообробкою в інтервалі...