Окунєв Михайло Шикович
Спосіб одержання нітриду кремнію з переважним вмістом alрha-фази
Номер патенту: 8682
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Фірстов Сергій Олексійович, Сухіх Леонід Леонідович, Мацегора Світлана Никифорівна, Косолапова Тетяна Яківна, Окунєв Михайло Шикович, Авербух Леонід Михайлович, Бартницька Тамара Сергіївна
МПК: C01B 21/068
Мітки: нітриду, одержання, переважним, кремнію, вмістом, alрha-фази, спосіб
Формула / Реферат:
1. Способ получения нитрида кремния с преимущественным содержанием а-фазы, включающий азотирование кремния азотом при высоких температурах, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода нитрида кремния, перед азотированием кремний обрабатывают жидким азотом или водородом.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что азотирование проводят при 1200-1400°С.