Спосіб одержання нітриду кремнію з переважним вмістом alрha-фази

ДЛЯ СЛУЖЇ ЬНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ ЭК;Г f£, 0 і СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (19) SU,,,, 1665639 * А1 (51)5 С 01 В 21/068 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ ПРИ ГННТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ і (21) 4474161/26 (22) 15.08.88 (71) Институт проблем материаловедения ЛИ УССР (72) Т.Я.Косолапопа, Л.Л.Сухих, Л.М.Авер&ух, М.Ш.Окупев, Т.С.Бартницкая, С.Н.Мацегора и С.Л.Фирстов (53) 661.68 (088.8) (56) Патент Великобритании № 1364716, кл. С 01 В 21/06, 1974. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НИТРИДА КРЕМНИЯ С ПРЕИМУЩЕСТВЕННЫМ СОДЕРЖАНИЕМ Ы-ФАЗЫ Изобретение относится к неоргани ческой химии, в частности к получению нитрида кремния с преимущественным содержанием^-фазы, который может быть использован как основа для изготовления керамических материалов. Цель изобретения - повышение выхода нитрида кремния. П р и м е р 1. Ю г порошка кремния помещают п емкость и обрабатывают жидким азотом, затем азот испаряют, кремний переносят в лодочку и проводят его азотирование в печи сопротивления при 1400°С в атмосфере азота в течение 2 ч. Содержание азбта в продукт^ составляет 38,1 мас.%, что соответствует выходу нитркда кремния 95,2 мас.%. Содержание в немоі-фазьі составляет 85 мае.2. П р и м е р 2. То же, что и в примере 1, но азотирование проводят при 1300°С в течение 3 ч. Выход нитрида кремния составляет 96,2 мас.% 27-91 (57) Изобретение относится к получению нитрида кремния с повышенным содержанием Ы-фазы и позволяет повысить его выход. Порошок кремния обрабатывают жидким азотом или водородом, после чего проводят азотирование кремния при 1200 - 1400°С в атмосфере азота. Получают нитрид кремния с выходом 95,2 - 96,2 мас.% и содержаниемfcd-фазыв нем 80 - 88 мас.%. І з . п. ф-лы. при содержании в немot-фазы 88 мас.% и азота 38,6 мае. %. П р и м е р 3. То же, что и в примере 1, но азотирование проводят при 1250°С в течение 4 ч. Выход нитрида кремния составляет 95,5 мас.% при содержании в нем с£-фазы 88 мас.% и 38,2 мас.% азота. П р и м е р 4. Ю г порошка кремния азотирую', при 1200°С 1 ч, затем охлаждают и обрабатывают жидким азотом, азот испаряют и азотируют кремний: при 1400 С 1 ч. Выход нитрида кремния составляет 95,5 мас.%, содержание в немс^-фазы - 80 мас,%, а азота - 38,2 мас.^. П р и м е р 5. Юг порошка кремния помещают в емкость и обрабатывают жидким водородом, затем водород испаряют, кремний переносят в печь сопротивления и азотируют при 1300 С в течение 2 ч в атмосфере азота. Выход нитрида кремния составляет (Л С ел 35 СО •'.•••" • • 3 1665639 96 мас. 7a при содержании в нем о£ -фазы ;85 мас.% и 38,4 мас.% азота. Таким образом, изобретение позволяет повысить выход нитрида кремния др 95,2-96,2-мас.% по сравнению с 84,8 мас.% для известного способа, при этом содержаниеQL-фазы в нитриде ; кремния составляет 80-88 мас.%. Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я , К Способ получения нитрида кремния с преимущественным содержанием Редактор II.Козлова &£-фазы, включающий азотирование кремния азотом при высоких температурах, о т л и ' ч а ю щ и л с я тем, что, с целью повышения выхода нитрида,кремния, перед азотированием кремний обрабатывают жидким азотом или водородом. 2. Способ по п . 1 , о т л и ч а ю и й с я тем,, что азотирование проводят при 120О~14О0°С. • Составитель Г.Винокурова Техред А.Кравчук Корректор М.Самборская Заказ 2765/ДСП Тираж 179 Подписное ВНИИЛИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород» ул. Гагарина,101