Овсянніков Евген Юрійович
Спосіб виготовлення дифракційних елементів та елементів пристроїв інтегральної оптики
Номер патенту: 17250
Опубліковано: 01.04.1997
Автори: Овсянніков Евген Юрійович, Олексенко Павло Феофанович, Камуз Олександр Михайлович, Сизов Федір Федорович
Мітки: інтегральної, спосіб, елементів, дифракційних, виготовлення, оптики, пристроїв
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления дифракционных элементов и элементов устройств интегральной оптики, таких как дифракционные решетки активные элементы канального волновода и направленного ответвителя, включающий воздействие активирующего излучения на исходный образец через фотошаблон, и отличающийся тем, что в качестве исходного образца используются монокристаллы полупроводникового соединения III - V, причем монокристалл помещают в высокополярную...