Павлов Андрій Володимирович

Номер патенту: 33751

Опубліковано: 15.02.2001

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Кравченко Сергій Миколайович, Павлов Андрій Володимирович

МПК: H01J 25/00, C23C 14/35

Мітки: розпилювального, пристрою, магнітна, магнетронного, система

Текст:

...наступним. Рухома і нерухома пари магнітів створюють поблизу поверхні мішені, що розпилюється, магнітну індукцію, що паралельна поверхні мішені і перпендикулярна вектору напруженості електричного поля. Електрони, що знаходяться в цій області, рухаються по циклоїді поблизу поверхні мішені, і іонізують залишкові гази. Прискорені електричним полем іони бомбардують і при цьому розпилюють мішень. Більш високі значення індукції магнітного поля...