Павлов Віктор Сергійович

Номер патенту: 47545

Опубліковано: 15.07.2002

Автори: Павлов Віктор Сергійович, Картмазов Генадій Миколайович, Смирнов Сергій Олександрович, Сафонов Володимир Йосипович, Білоус Віталій Арсентійович

МПК: C23C 14/00

Мітки: покриттів, вакуумі, нанесення, спосіб

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения покрытий в вакууме путем регулируемого испарения материала покрытия за счет его нагрева электронным пучком, ионизации паров испаряемого материала путем зажигания в них разряда при подключении одного из электродов источника разрядного напряжения к испаряемому материалу с регулированием степени ионизации током разряда, а энергии ионов – напряжением смещения на покрываемом изделии, отличающийся тем, что с целью повышения...