Спосіб нанесення покриттів у вакуумі

Номер патенту: 15582

Опубліковано: 30.06.1997

Автор: Каплунов Сергій Геннадійович

МПК: C23C 14/24

Мітки: нанесення, покриттів, вакуумі, локального, спосіб

Формула / Реферат:

(57) Способ локального нанесения покрытий в вакууме, основанный на наложении ваку­умной камеры на участок обрабатываемого изделия и распылении материала ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что после наложения вакуумной камеры с противоположной стороны изделия устанав­ливают дополнительную вакуумную камеру осесимметрично первой, после чего прово­дят одновременное вакуумирование замк­нутых объемов, а после распыления материала покрытия...

Номер патенту: 2363

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Гриценко Валерій Іванович, Швець Олег Михайлович, Толок Володимир Тарасович, Береснєв Вячеслав Мартинович, Лимар Володимир Пилипович, Кривоніс Михайло Григорович

МПК: C23C 14/40

Мітки: нанесення, покриттів, пристрій, вакуумі

Формула / Реферат:

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее рабочую камеру с размещенными в ней электродуговым испарителем и подложкодержателем, отличающееся тем, что в него введен ВЧ-генератор с согласующей системой, состоящей из конденсатора переменной емкости, соединенного с коаксиальным кабелем изменяемой длины, центральная жила которого соединена с подложкодержателем, а экран - с рабочей камерой.

Номер патенту: 32485

Опубліковано: 15.12.2000

Автори: Яцишин Богдан Петрович, Яцишин Святослав Петрович, Байцар Ганна Степанівна, Миколайчук Олексій Гордійович

МПК: C23C 14/00

Мітки: покрить, вакуумі, нанесення, спосіб

Формула / Реферат:

Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий испарение и конденсацию паров наносимого металла в продольном электрическом поле в пространстве между испарителем и подложкой, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет снижения примесей, в пространстве между испарителем и под ложкой создают градиент электрического поля путем введения положительно заряженной сетки.

Номер патенту: 15555

Опубліковано: 30.06.1997

Автори: Овчаренко Валерій Давидович, Брень Віктор Григорович, Аксьонов Іван Іванович, Ломіно Микола Степанович

МПК: C23C 14/32

Мітки: металів, спосіб, основі, нанесення, нітридів, покриттів, вакуумі

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения покрытий в вакууме на основе нитридов металлов, включающий формирование потока металлической плазмы с помощью вакуумно-дугового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях в разреженной атмосфере азота с добавкой электроотрицательного газа, размещение изделия в плазменном потоке вне области анодного свечения и конденсацию потока плазмы при подаче на изделие отрицательного потенциала, отличающийся тем, что процесс...

Номер патенту: 14389

Опубліковано: 25.04.1997

Автори: Саблєв Леонід Павлович, Ступак Римма Іванівна, Падалка Валентин Глібович, Луценко Вадим Миколайович

МПК: C23C 4/12

Мітки: вакуумі, пристрій, металевих, покриттів, електродугового, нанесення

Формула / Реферат:

Устройство электродугового нанесения ме­таллических покрытий в вакууме, содержащее протяженные анод и расходуемый катод, систему осевого перемещения катодного пятна вдоль рабо­чей поверхности катода, датчик положения катод­ного пятна и источник электропитания, отличаю­щееся тем, что, с целью расширения технологиче­ских возможностей путем обеспечения программ­ного управления областью перемещения катодного пятна дуги по рабочей поверхности...