Петренко Анатолій Миколайович
Установка для вакуум-плазмового напилення
Номер патенту: 5174
Опубліковано: 15.02.2005
Автори: Петренко Анатолій Миколайович, Рутковський Анатолій Віталійович, Ляшенко Борис Артемович, Мірненко Володимир Іванович
МПК: C23C 14/00
Мітки: установка, напилення, вакуум-плазмового
Формула / Реферат:
Установка для вакуум-плазмового напилення, що містить генератор плазми, вакуумну камеру, систему відкачки повітря з вакуумної камери, засіб для натікання робочого газу до вакуумної камери та вакуумну камеру, в якій розташовані: утримувач виробу, підпалюючий електрод, катод і фокусуюча котушка, що гальванічно з'єднані з генератором плазми, а також систему управління процесом вакуум-плазмового напилення, яка відрізняється тим, що у вакуумній...