Патенти з міткою «вакуум-плазмового»

Номер патенту: 26322

Опубліковано: 10.09.2007

Автори: Солових Євген Костянтинович, Ляшенко Борис Артемович, Антонюк Віктор Степанович, Сорока Олена Борисівна, Ліпінська Наталія Володимирівна, Рутковський Анатолій Віталійович

МПК: C23C 14/26, C23C 14/24, C23C 14/00 ...

Мітки: установка, напилення, вакуум-плазмового

Формула / Реферат:

1. Установка для вакуум-плазмового напилення, що містить генератор плазми, систему відкачування повітря з вакуумної камери, засіб для натікання робочого газу до вакуумної камери та вакуумну камеру, в якій розташований утримувач деталі, підпалювальний електрод, катод і фокусуюча котушка, гальванічно з'єднані з генератором плазми, а також систему керування процесом вакуум-плазмового напилення, яка відрізняється тим, що у вакуумній камері між...

Номер патенту: 5174

Опубліковано: 15.02.2005

Автори: Рутковський Анатолій Віталійович, Петренко Анатолій Миколайович, Ляшенко Борис Артемович, Мірненко Володимир Іванович

МПК: C23C 14/00

Мітки: вакуум-плазмового, установка, напилення

Формула / Реферат:

Установка для вакуум-плазмового напилення, що містить генератор плазми, вакуумну камеру, систему відкачки повітря з вакуумної камери, засіб для натікання робочого газу до вакуумної камери та вакуумну камеру, в якій розташовані: утримувач виробу, підпалюючий електрод, катод і фокусуюча котушка, що гальванічно з'єднані з генератором плазми, а також систему управління процесом вакуум-плазмового напилення, яка відрізняється тим, що у вакуумній...

Номер патенту: 4250

Опубліковано: 17.01.2005

Автори: Мірненко Володимир Іванович, Ляшенко Борис Артемович, Рутковський Анатолій Віталійович, Семон Богдан Йосипович

МПК: C23C 14/00, C23C 14/26, C23C 14/24 ...

Мітки: напилення, установка, вакуум-плазмового

Формула / Реферат:

Установка для вакуум-плазмового напилення, що містить генератор плазми, систему відкачки повітря з вакуумної камери, засіб для накачування робочого газу до вакуумної камери та вакуумну камеру, в якій розташовані: тримач виробу, підпалюючий електрод, катод і фокусуюча котушка, що гальванічно з'єднані з генератором плазми, а також систему управління процесом вакуум-плазмового напилення, яка відрізняється тим, що установка доповнена нагрівачем,...