Рібтон Колін
Плазмове джерело і спосіб генерування пучків заряджених частинок
Номер патенту: 112701
Опубліковано: 10.10.2016
Автори: Рібтон Колін, Сандерсон Аллан
МПК: H01J 37/077, H01J 27/16
Мітки: спосіб, джерело, пучків, частинок, заряджених, плазмове, генерування
Формула / Реферат:
1. Плазмове джерело для генерування пучка заряджених частинок, що містить: плазмову камеру, обладнану впускним патрубком для впускання газу і отвором для виведення заряджених частинок з плазмової камери; радіочастотний модуль генерування плазми для генерування плазми усередині плазмової камери, причому радіочастотний модуль генерування плазми містить перший і другий резонансні контури, кожний з яких налаштований на, по суті,...