H01J 27/16 — з використанням високочастотного збудження, наприклад надвисокочастотного

Номер патенту: 112701

Опубліковано: 10.10.2016

Автори: Рібтон Колін, Сандерсон Аллан

МПК: H01J 37/077, H01J 27/16

Мітки: джерело, спосіб, плазмове, пучків, заряджених, генерування, частинок

Формула / Реферат:

1. Плазмове джерело для генерування пучка заряджених частинок, що містить: плазмову камеру, обладнану впускним патрубком для впускання газу і отвором для виведення заряджених частинок з плазмової камери; радіочастотний модуль генерування плазми для генерування плазми усередині плазмової камери, причому радіочастотний модуль генерування плазми містить перший і другий резонансні контури, кожний з яких налаштований на, по суті,...

Номер патенту: 42072

Опубліковано: 25.06.2009

Автори: Зиков Олександр Володимирович, Дудін Станіслав Валентинович, Рафальський Дмитро В'ячеславович

МПК: H01J 27/16

Мітки: іонів, енергоефективне, джерело

Формула / Реферат:

Енергоефективне джерело іонів, що включає діелектричну розрядну камеру з підключеним до джерела ВЧ напруги через розділовий конденсатор потенціальним електродом площею S1 і іонно-оптичною системою у вигляді заземленого електрода-сітки площею S2, а також ВЧ індуктор, що охоплює камеру зовні, яке відрізняється тим, що потенціальний електрод складений з нерухомої і рухомої частин та виконаний з можливістю зміни його площі S1 завдяки пересуванню...

Номер патенту: 67392

Опубліковано: 15.06.2004

Автори: Возний Віталій Іванович, Сторижко Володимир Юхимович, Мордик Сергій Миколайович, Мирошниченко Валентин Іванович

МПК: H01J 27/16

Мітки: іонів, джерело, високочастотне

Формула / Реферат:

1. Високочастотне джерело іонів, що містить газорозрядну камеру, зв'язану із системою газонапуску, індуктор, іонно-оптичну систему, систему постійних магнітів, що охоплює газорозрядну камеру, яке відрізняється тим, що система магнітів виконана у вигляді рівнобіжних магнітних кілець, прилеглих одне до одного, і розташована між індуктором і іонно-оптичною системою з можливістю переміщення уздовж осі по поверхні газорозрядної камери.2....

Номер патенту: 32420

Опубліковано: 15.12.2000

Автори: Лебідь Сергій Олексійович, Мордик Сергій Миколайович

МПК: H01J 27/16

Мітки: іонів, високочастотне, джерело

Текст:

...размещено ферритовое кольцо 7, предназначенной для создания конфигурации магнитного поля магнитной ловушки типа пробкотрон. Источник работает следующим образом. После откачки газоразрядной камеры 1 и напуска газа системой газонапуска 5, индуктор 2 запитывается ВЧ-системой питания 3 высокочастотным напряжением. При подаче высокого давления на вытягивающие электроды ионно-оптической системы 4, через апертуру вытягивающего электрода из...

Номер патенту: 2426

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Фареник Володимир Іванович, Будянський Олександр Михайлович, Зиков Олександр Володимирович

МПК: H01J 27/16

Мітки: джерело, іонів, високочастотне

Формула / Реферат:

Высокочастотный источник ионов, содержащий диалектрическую разрядную камеру, ВЧ-индуктор, охватывающий камеру снаружи, потенциальный апектрод, расположенный в объеме камеры, и ионно-оптическую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности и надежности рабо­ты, потенциальный апектрод соединен с источником ВЧ-напряжения через разделительный конденса­тор, а ионно-оптическая система источника состоит из одного заземленного...