Романченко Владислав Георгійович
Спосіб нанесення покриттів у вакуумі та пристрій для його здійснення
Номер патенту: 82889
Опубліковано: 26.05.2008
Автори: Сисоєв Андрій Юрійович, Костюк Геннадій Ігорович, Романченко Владислав Георгійович, Сисоєв Юрій Олександрович
МПК: C23C 14/34
Мітки: нанесення, вакуумі, спосіб, пристрій, покриттів, здійснення
Формула / Реферат:
1. Спосіб нанесення покриттів у вакуумі, що включає генерацію плазмового потоку з покривного матеріалу джерелом плазми, створення електричного поля, що прискорює іонний компонент плазмового потоку, подачею негативного потенціалу на тримач підкладки із розташованими на ньому виробами, що обробляють, подачу у вакуумну камеру газового компонента і конденсацію потоку іонів на поверхню цих виробів, який відрізняється тим, що в області осадження...