Романюк Владислав Федорович
Пристрій для вимірювання в динамічних умовах ширини щілини з переміщуваними в мікронних межах краями
Номер патенту: 10119
Опубліковано: 15.11.2005
Автори: Вінніченко Катерина Леонідівна, Зависляк Ігор Володимирович, Поперенко Леонід Володимирович, Романюк Владислав Федорович
МПК: G01B 9/08, G01B 11/04
Мітки: мікронних, межах, умовах, краями, пристрій, переміщуваними, динамічних, щілини, ширини, вимірювання
Формула / Реферат:
Пристрій для вимірювання в динамічних умовах ширини мікрощілини з переміщуваними її краями, що містить освітлювальну систему, пристрій реєстрації з вхідним вікном світлового пучка, який відрізняється тим, що за освітлювальною системою в нього введені за ходом світлового променя формувач профілю мікрощілини, проекційна система з мікрооб'єктивом з мікрометричною сіткою та колективною лінзою, а в площині сформованого проекційною системою...