Салій Ярослав Петрович
Спосіб отримання p-n-p структури
Номер патенту: 52322
Опубліковано: 16.12.2002
Автори: Кланічка Володимир Михайлович, Салій Ярослав Петрович
МПК: H01L 21/67
Мітки: отримання, спосіб, структури, p-n-p
Формула / Реферат:
Спосіб отримання р-n-р структури, який здійснюється шляхом радіаційного опромінення напівпровідників р-типу провідності протонами, джерелом яких є прискорювач, який відрізняється тим, що опромінення напівпровідників р-типу провідності здійснюється -частинками, які випромінюються ізотопом Рu238.