Шалаєв Ростислав Валерійович
Спосіб вирощування плівок алмазоподібного вуглецю
Номер патенту: 47786
Опубліковано: 25.02.2010
Автори: Шалаєв Ростислав Валерійович, Прудніков Анатолій Михайлович, Варюхін Віктор Миколайович
МПК: C23C 16/26, C23C 14/00
Мітки: вирощування, плівок, вуглецю, алмазоподібного, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб вирощування плівок алмазоподібного вуглецю з газової фази в плазмі тліючого розряду постійного струму малої потужності (до 100 Вт) з суміші вуглецевмісного газу (СН4 або СН3СОСН3) і водню, який відрізняється тим, що безпосередньо в процесі зростання вибірково пригнічують утворення неалмазних модифікацій вуглецю, для чого здійснюють селективне опромінювання плівок, що ростуть, лазерним випромінюванням в спектральній області 400-600...