Прудніков Анатолій Михайлович
Спосіб отримання масиву квантових точок типу “ядро-оболонка” на основі нітриду нікелю
Номер патенту: 100623
Опубліковано: 10.08.2015
Автори: Прудніков Анатолій Михайлович, Лінник Олексій Іванович, Линнік Тетяна Олексіївна
МПК: C23C 14/28, C23C 14/54
Мітки: ядро-оболонка, отримання, нікелю, квантових, типу, нітриду, точок, масиву, основі, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб отримання масиву квантових точок типу "ядро-оболонка" на основі нітриду нікелю за допомогою розпилювання мішені в планарному магнетроні постійного струму малої потужності (до 20 Вт), який відрізняється тим, що згаданий масив формується в одностадійному процесі розпилювання нікелевої мішені на підкладку в атмосфері буферного газу, який являє собою суміш аргону і азоту.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що...
Спосіб вирощування плівок алмазоподібного вуглецю
Номер патенту: 47786
Опубліковано: 25.02.2010
Автори: Варюхін Віктор Миколайович, Шалаєв Ростислав Валерійович, Прудніков Анатолій Михайлович
МПК: C23C 14/00, C23C 16/26
Мітки: вуглецю, спосіб, алмазоподібного, плівок, вирощування
Формула / Реферат:
1. Спосіб вирощування плівок алмазоподібного вуглецю з газової фази в плазмі тліючого розряду постійного струму малої потужності (до 100 Вт) з суміші вуглецевмісного газу (СН4 або СН3СОСН3) і водню, який відрізняється тим, що безпосередньо в процесі зростання вибірково пригнічують утворення неалмазних модифікацій вуглецю, для чого здійснюють селективне опромінювання плівок, що ростуть, лазерним випромінюванням в спектральній області 400-600...