Шелленбергер Вільгельм
Спосіб осушення кремнію
Номер патенту: 51663
Опубліковано: 16.12.2002
Автори: Геррмансдерфер Дітер, Шелленбергер Вільгельм
МПК: H01L 21/306
Мітки: спосіб, осушення, кремнію
Формула / Реферат:
1. Спосіб осушення поверхні підкладинки (1), який передбачає:занурення підкладинки у ванну з рідиною (2);пропускання над поверхнею ванни з рідиною газу, який розчиняється у цій рідині і тим самим знижує її поверхневий натяг; тарозділення підкладинки (1) і рідини (3) з такою швидкістю, що різниця між поверхневим натягом рідини, яка має вищу концентрацію розчиненого газу біля поверхні підкладинки, та рідини, яка має нижчу...