Шубін Олександр Васильович
Газорозрядна електронна гармата
Номер патенту: 51629
Опубліковано: 16.12.2002
Автори: Новіков Анатолій Олександрович, Панібрацький Валерій Олексійович, Шубін Олександр Васильович
МПК: H01J 37/06
Мітки: газорозрядна, електронна, гармата
Формула / Реферат:
Газоразрядная электронная пушка, содержащая анод, гальванически соединенный с технологической камерой, обрабатываемым материалом и землей, и по крайней мере два изолированных друг от друга катода, включенных встречно через управляющую цепочку в цепь высоковольтного источника питания и изолированных от “земли”, отличающаяся тем, что оси катодов расположены под углом, между анодом и обрабатываемым материалом введен изолированный от “земли”...
Спосіб нанесення покриттів і пристрій для його здійснення
Номер патенту: 48778
Опубліковано: 15.08.2002
Автори: Шубін Олександр Васильович, Новіков Анатолій Олександрович
МПК: C23C 16/00, C23C 14/00
Мітки: нанесення, покриттів, спосіб, пристрій, здійснення
Формула / Реферат:
1. Спосіб нанесення покриттів, що включає очищення підкладки, іонізацію робочого середовища в плазмовому джерелі іонів, витягування, прискорення й осадження іонного потоку на підкладці, який відрізняється тим, що перед осадженням на підкладку іонний потік розшаровують на окремі пучки, фокусують їх і пропускають через магнітну відхиляючу систему.2. Пристрій для нанесення покриттів, що містить плазмове джерело іонів і підкладку, який...