Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Газоразрядная электронная пушка, содержащая анод, гальванически соединенный с технологической камерой, обрабатываемым материалом и землей, и по крайней мере два изолированных друг от друга катода, включенных встречно через управляющую цепочку в цепь высоковольтного источника питания и изолированных от “земли”, отличающаяся тем, что оси катодов расположены под углом, между анодом и обрабатываемым материалом введен изолированный от “земли” эмитnерный электрод с выходными отверстиями, соосными катодам, между ним и технологической камерой введены электрод дополнительной ионизации газа или пара и технологический электрод, при этом угол между осями катодов и выходные отверстия·в эмиттерном электроде выбраны из условий 180°³a³0°; 1£d/D£(eUсл/kTe)3/4, где a - угол между осями катодов;

d@(eo/ni)1/2(ekTe)-1/4Uсл3/4 - диаметр отверстия, равный ширине пристеночного слоя пространственного; заряда;

eo, e - диэлектрическая проницаемость вакуума и заряд электрона;

ni@ne - концентрация ионов и электронов в плазме;

kTe - средняя тепловая энергия электронов в плазме;

Uсл - падение потенциала в пристеночном слое;

D=(eokTe/nee2)1/2 - дебаевский радикс экранирования в плазме.

Текст

Газоразрядная электронная пушка, содержащая анод, гальванически соединенный с технологической камерой, обрабатываемым материалом и землей, и по крайней мере два изолированных друг от друга катода, включенных встречно через управляющую цепочку в цепь высоковольтного источника питания и изолированных от "земли", отличающаяся тем, что оси катодов расположены под углом, между анодом и обрабатываемым материалом введен изолированный от "земли" Изобретение относится к газоразрядным электронным приборам и устройствам для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда или электронного потока, например, с целью их исследования или обработки, а более конкретно - к конструкции газоразрядных электронных пушек, применяемых в основном для высокотемпературной обработки материалов и получении защитных и декоративных покрытий, например, путем термического испарения, термической модификации поверхности или осаждения пленок из пучковой плазмы Известны газоразрядные электронные пушки, работающие на основе высоковольтного тлеющего разряда и осуществляющие термическую и плазмохимическую обработку материалов (Плазменные процессы в технологических электронных пушках, Завьялов М А и др, - М ЭАИ, 1989, с 102) Известны также электронные пушки (Пат США №4778975, МКИ4 В 23 К 15/00, оп 1988, Изобретения стран мира, 1989, вып 30, № 7, эмитперныи электрод с выходными отверстиями, соосными катодам, между ним и технологической камерой введены электрод дополнительной ионизации газа или пара и технологический электрод, при этом угол между осями катодов и выходные отверстия в эмиттерном электроде выбраны из условий 180°>а>0°, 10°, 1

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Gas discharge electron gun

Автори англійською

Novikov Anatolii Oleksandrovych

Назва патенту російською

Газоразрядный электронный прожектор

Автори російською

Новиков Анатолий Александрович

МПК / Мітки

МПК: H01J 37/06

Мітки: електронна, гармата, газорозрядна

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/4-51629-gazorozryadna-elektronna-garmata.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Газорозрядна електронна гармата</a>

Подібні патенти