Таланін Ігор Євгенійович
Спосіб вирощування з розплаву бездислокаційних монокристалів кремнію
Номер патенту: 21853
Опубліковано: 10.04.2007
Автори: Таланін Віталій Ігорович, Сирота Анатолій Васильович, Таланін Ігор Євгенійович
МПК: C30B 15/00, C30B 13/00
Мітки: монокристалів, вирощування, розплаву, кремнію, спосіб, бездислокаційних
Формула / Реферат:
Спосіб вирощування з розплаву за допомогою методів безтигельної зонної плавки і Чохральського бездислокаційних монокристалів кремнію, що включає створення розплаву, підведення до розплаву монокристалічної затравки, вирощування монокристалічної частини з попереднім створенням тонкої шийки, який відрізняється тим, що під час росту монокристал, що зростає, піддають термічній обробці в межах 1350-1250 °С, з наступним швидким охолодженням...