Таланін Ігор Євгенійович

Спосіб вирощування з розплаву бездислокаційних монокристалів кремнію

Завантаження...

Номер патенту: 21853

Опубліковано: 10.04.2007

Автори: Таланін Віталій Ігорович, Сирота Анатолій Васильович, Таланін Ігор Євгенійович

МПК: C30B 15/00, C30B 13/00

Мітки: монокристалів, вирощування, розплаву, кремнію, спосіб, бездислокаційних

Формула / Реферат:

Спосіб вирощування з розплаву за допомогою методів безтигельної зонної плавки і Чохральського бездислокаційних монокристалів кремнію, що включає створення розплаву, підведення до розплаву монокристалічної затравки, вирощування монокристалічної частини з попереднім створенням тонкої шийки, який відрізняється тим, що під час росту монокристал, що зростає, піддають термічній обробці в межах 1350-1250 °С, з наступним швидким охолодженням...