Тані Казумі
Посудина для вміщення кремнію та спосіб її виготовлення
Номер патенту: 81278
Опубліковано: 25.12.2007
Автори: Тані Казумі, Каілло Фредерік, Кобаяші Йошіфумі, Шімізу Коічі
МПК: C23C 14/14, C23C 14/08, C23C 14/28 ...
Мітки: кремнію, посудина, вміщення, виготовлення, спосіб
Формула / Реферат:
1. Посудина для одержання або розплавлення рідкого кремнію, яка включає кремнієве складне напилене термет-покриття, яке включає металевий кремній, нітрид кремнію та оксид кремнію, принаймні на частині внутрішньої стінки посудини для вміщення кремнію, яка відрізняється тим, що кремнієве складне напилене термет-покриття має компонентне співвідношення металевого кремнію (X):нітриду кремнію (Y):оксиду кремнію (Z) X:Y:Z:=20-50:77-30:3-20.2....