Телепнєв Володимир Дмитрович

Номер патенту: 28634

Опубліковано: 16.10.2000

Автори: Телепнєв Володимир Дмитрович, Верховцева Евеліна Тимофіївна, Яременко Валерій Іванович

МПК: H01J 31/00, G01J 3/00

Мітки: ультрафіолетового, вакуумного, джерело, випромінювання

Формула / Реферат:

1. Джерело вакуумного ультрафіолетового випромінювання, яке має вакуумну камеру і розміщені в ній надзвукове сопло, співвісний з ним конічний патрубок, менша основа якого звернена до сопла, електронну гармату та кріогенний насос, яке відрізняється тим, що воно має додатково циліндричну насадку на меншій основі патрубка, механічний вакуумний насос, підключений до більшої основи патрубка та гелійову холодильну двоступеневу машину замкнутого...