Яременко Валерій Іванович

Номер патенту: 28634

Опубліковано: 16.10.2000

Автори: Яременко Валерій Іванович, Верховцева Евеліна Тимофіївна, Телепнєв Володимир Дмитрович

МПК: G01J 3/00, H01J 31/00

Мітки: випромінювання, джерело, вакуумного, ультрафіолетового

Формула / Реферат:

1. Джерело вакуумного ультрафіолетового випромінювання, яке має вакуумну камеру і розміщені в ній надзвукове сопло, співвісний з ним конічний патрубок, менша основа якого звернена до сопла, електронну гармату та кріогенний насос, яке відрізняється тим, що воно має додатково циліндричну насадку на меншій основі патрубка, механічний вакуумний насос, підключений до більшої основи патрубка та гелійову холодильну двоступеневу машину замкнутого...