Тимофєєв Валентин Юрійович

Номер патенту: 8755

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Горбатюк Володимир Улянович, Карпенко Едуард Семенович, Тимофєєв Валентин Юрійович, Твердохліб Микола Григорович

МПК: H01J 23/16

Мітки: нвч-енергії, виготовлення, засіб, поглинача

Формула / Реферат:

Способ изготовления пленочного поглотите­ля СВЧ-энергии, содержащего 37 ± 5мас.% рения и вольфрам, включающий нанесение пленки на подложку и стабилизирующий отжиг, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения выхода год­ных и термостабильности поглотителя, материал пленки содержит дополнительно 25-40 мас.% ти­тана, а стабилизирующий отжиг проводят при тем­пературе 950-1120°С в атмосфере водорода с точкой росы 213-233 К.