Томілін Сергій Володимирович
Спосіб отримання наночастинок на носіях
Номер патенту: 108243
Опубліковано: 10.04.2015
Автори: Томілін Сергій Володимирович, Яновський Олександр Сергійович
МПК: C23C 14/00, C23C 14/04, B82B 3/00 ...
Мітки: спосіб, наночастинок, носіях, отримання
Формула / Реферат:
Спосіб отримання наночастинок на носіях, який включає розпилення матеріалу у вакуумі, створення потоку розпиленого матеріалу, формування наночастинок із використанням заслінки на шляху потоку розпиленого матеріалу, який відрізняється тим, що заслінку розміщують на шляху потоку осаджуваної речовини на відстані від носія, яку розраховують за формулою:
Двозондова система вимірювання електричних характеристик та контролю суцільності надтонких провідних плівок
Номер патенту: 103560
Опубліковано: 25.10.2013
Автори: Томілін Сергій Володимирович, Яновський Олександр Сергійович, Томіліна Ольга Андріївна
МПК: G01R 1/00, G01N 27/68
Мітки: контролю, плівок, вимірювання, характеристик, надтонких, суцільності, двозондова, провідних, система, електричних
Формула / Реферат:
Двозондова система вимірювання електричних характеристик і контролю суцільності надтонких провідних плівок, яка містить два притискних голчастих зонди з мікрометричним загостренням для контролю та відтворення параметрів контакту зондів зі зразком та електричну схему підключення зондів, що складається з джерела живлення, цифрового вольтметра та амперметра, яка відрізняється тим, що містить предметний столик, який складається з двох частин, в...