Томіліна Ольга Андріївна
Двозондова система вимірювання електричних характеристик та контролю суцільності надтонких провідних плівок
Номер патенту: 103560
Опубліковано: 25.10.2013
Автори: Томіліна Ольга Андріївна, Томілін Сергій Володимирович, Яновський Олександр Сергійович
МПК: G01N 27/68, G01R 1/00
Мітки: провідних, надтонких, контролю, двозондова, вимірювання, суцільності, характеристик, плівок, система, електричних
Формула / Реферат:
Двозондова система вимірювання електричних характеристик і контролю суцільності надтонких провідних плівок, яка містить два притискних голчастих зонди з мікрометричним загостренням для контролю та відтворення параметрів контакту зондів зі зразком та електричну схему підключення зондів, що складається з джерела живлення, цифрового вольтметра та амперметра, яка відрізняється тим, що містить предметний столик, який складається з двох частин, в...