Воєводін Андрій А.
Джерело фільтрованої плазми катодної дуги (варіанти)
Номер патенту: 84675
Опубліковано: 25.11.2008
Автори: Стрельницький Володимир Євгенійович, Воєводін Андрій А., Васильєв Володимир Васильович, Джоунс Джон Г., Аксьонов Іван Іванович, Забінскі Джеффрі С.
МПК: B23K 10/00, H05H 15/00, H05H 1/00 ...
Мітки: варіанти, фільтрованої, катодної, джерело, плазми, дуги
Формула / Реферат:
1. Джерело фільтрованої вакуумно-дугової плазми, що містить принаймні один генератор плазми, і включає:катод, що витрачається, з торцевою робочою поверхнею, яка емітує потік плазми катодного матеріалу при запалюванні вакуумної дуги;співвісний із згаданим катодом трубчастий анод;фокусуючі плазму катодну і анодну магнітні котушки, що охоплюють згаданий катод, що витрачається, і згаданий анод, відповідно;згаданий...