Воронін Андрій Григорович

Номер патенту: 41837

Опубліковано: 10.06.2009

Автор: Воронін Андрій Григорович

МПК: C23C 14/00, C23C 14/32

Мітки: нанесення, вакуумного, пристрій, покриття

Формула / Реферат:

Установка для вакуумного нанесення покриття, що містить вакуумну камеру, рухливий елемент, що містить привід для переміщення, вакуумний насос, вакуумні трубопроводи, блок живлення, яка відрізняється тим, що як привід для рухливого елемента використовується кроковий двигун, причому у вакуумній камері розташовані електроди іонно-плазмового очищення та система наповнення робочим газом.