Зайцева Лілія Василівна
Тонкоплівковий ємнісний перетворювач
Номер патенту: 111320
Опубліковано: 10.11.2016
Автори: Зайцева Лілія Василівна, Хрипунов Геннадій Семенович, Горкунов Борис Митрофанович, Зайцев Роман Валентинович
МПК: G01N 29/34
Мітки: ємнісний, тонкоплівковий, перетворювач
Формула / Реферат:
Тонкоплівковий ємнісний перетворювач на основі гетероструктури діелектрик/провідник, який містить діелектричний шар та провідний електрод, який відрізняється тим, що діелектричний шар ємнісного перетворювача виконано на основі двошарової структури поліімід/Аl2О3, а провідний електрод виконано на основі двошарової прозорої структури ІТО/гребінчастий Аl.