Згурський Тарас Михайлович
Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів
Номер патенту: 30450
Опубліковано: 25.02.2008
Автори: Згурський Тарас Михайлович, Лоскутова Тетяна Володимирівна, Бобіна Марина Миколаївна, Хижняк Віктор Гаврилович, Бобін Андрій Борисович, Дегула Андрій Іванович, Погребова Інна Сергіївна
МПК: C23C 12/00
Мітки: покриттів, реакційна, камера, дифузійних, нанесення
Формула / Реферат:
Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів, що містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш, всередині камери розміщена вставка для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в стакані з графітовим дном, яка відрізняється тим, що вакуумне ущільнення...